小于3"基片适用

发布时间：2024-03-01 15:21:15 浏览次数：556次

	基片尺寸	可处理直径达3英寸或3”x3”的基片3 小基片可使用托盘
	工艺腔室	采用水冷不锈钢法兰的石英管可选双腔室版本避免交叉污染
	温度范围	从室温到1250℃
	真空和气体	最多4路由数字MFC控制的工艺气路一条吹扫气路真空阀和真空规